[实用新型]一种节能型晶圆甩干机有效

专利信息
申请号: 202020340599.4 申请日: 2020-03-18
公开(公告)号: CN211404465U 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 邵圣 申请(专利权)人: 无锡凡华半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种节能型晶圆甩干机,包括箱体,所述箱体的内侧下方固定设置隔板,所述隔板的中部转动设置转动轴,所述转动轴的顶端固定连接旋转盘,所述旋转盘的上方穿插设置过滤筒,所述过滤筒的中部外表面均匀且等间隙设置四组定位块,所述定位块的另一端且远离过滤筒一侧固定连接有限位杆,所述限位杆的另一端贯穿并延伸至矩形块内,所述矩形块的底端固定连接竖杆,所述竖杆的底端固定安装于旋转盘上方,所述转动轴的底端贯穿并延伸至隔板的正下方与箱体底端的轴承座转动连接,所述箱体的顶部设置顶盖。该实用新型实现风力风干,通过设计旋转产生风力,更为节能,甩干效果好,避免了高温对芯片产生影响,保证产品的质量。
搜索关键词: 一种 节能型 晶圆甩干机
【主权项】:
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