[实用新型]一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶

摘要

本实用新型公开了一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，包括靶材本体、外冷却环本体、中心柱本体、中空槽和清洗结构，所述靶材本体的内部设置有中空槽，且中空槽内部的中心位置处设置有中心柱本体，中心柱本体的一端与靶材本体固定连接，并且中心柱本体的外壁上套装有中心环本体，中心环本体的内壁与中心柱本体的外壁固定连接，所述中心环本体外侧的中空槽内部安装有内冷却环本体，且内冷却环本体一侧的外壁上设置有内冷却槽，所述内冷却环本体外侧的靶材本体内壁上设置有清洗结构。本实用新型不仅避免了靶材表面中毒，提高了靶材的使用效率，而且延长了磁控溅射靶的使用寿命。