[实用新型]基于气体质量流量控制的二次动态配气装置及系统有效
| 申请号： | 202020355886.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN211913378U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 马弢;牛晓;张福林;杨健 | 申请（专利权）人： | 北京晓韬科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04;B01F15/00;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 张雄 |
| 地址： | 101149 北京市通州区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于气体质量流量控制的二次动态配气装置及系统，应用于配气技术领域，其中，基于气体质量流量控制的二次动态配气装置包括：稀释气体储气罐、被稀释气体储气罐、初级配气罐和二级配气罐，其中，所述稀释气体储气罐的出气口通过第一输气管路连接所述初级配气罐的第一进气口，通过第二输气管路连接所述二级配气罐的第一进气口；所述被稀释气体储气罐的出气口通过第三输气管路连接所述初级配气罐的第二进气口；所述初级配气罐的第一出气口通过第四输气管路连接所述二级配气罐第二进气口；所述初级配气罐内还设置有压力监测单元；所述第一输气管路、所述第二输气管路、所述第三输气管路、所述第四输气管路上均设置有气体控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 气体 质量 流量 控制 二次 动态 装置 系统 | ||
【主权项】：
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