[实用新型]气体质量流量控制器检测模块及设备有效
| 申请号： | 202020355928.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN211403235U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 马弢;牛晓;张福林;杨健 | 申请（专利权）人： | 北京晓韬科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G05D7/00 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 张雄 |
| 地址： | 101149 北京市通州区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气体质量流量控制器检测模块及设备，该设备包括：设备本体；设备本体上设置有：操作台、检测模块、气源提供模块、数据采集模块、电源提供模块；操作台与检测模块，通过第一待测气体质量流量控制器接入接口相连；气源提供模块与检测模块相连；数据采集模块与检测模块相连；电源提供模块，分别与数据采集模块、检测模块相连。通过设立不同气源，实现同时检测不同气源要求的MFC的检测，设定多路气路，增加了检测个数，实现综合性的MFC性能指标参数检测，测试并评价MFC精度，线性，重复性，响应时间等全部基于国标参数的关键参数，并能够实现多种控制模式的自动检测，数据记录，自动打印报告。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 质量 流量 控制器 检测 模块 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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