[实用新型]一种用于硅片分离的风刀装置

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片分离的风刀装置，该装置包括本体、限位板和导流板，本体内设有型腔，型腔内设有贯穿至型腔外壁的通气孔；限位板围设于型腔周围；导流板装配于本体上，导流板、限位板与本体配合形成与型腔连通的气流缝隙。本实用新型用于硅片分离的风刀装置可实现硅片的分离作业，避免对硅片产生损伤，该装置结构合理，调节方便，可通过更换不同厚度的限位板实现对气流缝隙的调节，同样适用其他工况。