[实用新型]一种基于簇系统的全自动涂胶显影机

摘要

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，包括机架、安装在机架上端面的涂胶机构、硅片的输送机构及控制机构，所述涂胶机构主要包括固设在机架上的固定架，所述固定架远离机架的一端固设有垂直方向的升降气缸，所述升降气缸的底端固设有水平放置的涂胶器，且涂胶器位于输送机构的正上方，所述输送机构主要包括水平放置的放置板、开设在放置板上表面的多个放置槽、固设在放置板下端面的移动块，所述放置槽内设置有用于固定硅片的定位组件；所述移动块在机架的上端面滑动，克服了现有技术的不足，具备便于对硅片固定以及加工效率高等优点，解决了传统的加工装置存在使用效果一般的问题。