[实用新型]一种石墨盘

摘要

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘，包括石墨大盘、设置在所述石墨大盘内的气道，以及用于放置晶片的石墨小盘，所述石墨小盘通过转轴设置于所述石墨大盘上，所述石墨大盘的上表面具有复数个凹槽，所述凹槽内具有气流阻挡件和气道口，所述石墨大盘由复数个大盘组件组成，所述大盘组件上的凹槽之间连通，所述大盘组件的其中一个凹槽的所述气道口与所述气道连通，以实现一条气道为多个凹槽提供气体，气体顺着所述气流阻挡件流动以驱动石墨小盘的转动。本实用新型的石墨盘通过增设凹槽并进行合理排布，多个凹槽之间的连通，减少气道的数量，大幅提升机台产能。