[实用新型]一种自动化激光加工设备有效
申请号: | 202020387554.2 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN212169332U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 黄海 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B23K26/046;B23K26/082;B23K26/00;H01L31/18;H01L31/04 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 王丹 |
地址: | 430000 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种自动化激光加工设备,主要包括呈闭环,且依次设置的A号工位、C号工位或C、D号工位,所有工位同步运动,每个工位上都对应设置有一个搁料盘以搁置片状物料,其中,所述A号工位为上料工位或上料工位、下料工位或上料工位、下料工位、视觉定位工位,所述C号工位或D号工位可为激光加工工位,还可在C号工位、D号工位之间增加至少一个辅助激光加工工位。本设计不仅能够满足大尺寸硅片的高光斑质量、高精度加工要求,而且精度可控性较强,产能较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动化 激光 加工 设备 | ||
【主权项】:
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