[实用新型]一种批量化硅片运送装置有效
| 申请号： | 202020392852.0 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212558274U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 徐爱阳 | 申请（专利权）人： | 扬州荣兴达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/52 | 分类号： | B65G47/52;B65G35/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京德铭知识产权代理事务所(普通合伙) 32362 | 代理人： | 奚鎏 |
| 地址： | 225200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片生产领域的一种批量化硅片运送装置，包括下框架，下框架通过若干组立柱进行支撑，下框架上设置有下部工作台面，下框架上配合设置有上框架，上框架上安装有上部工作台面；下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置，纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上；下部工作台面上设置有下部运送组件，上部工作台面上设置有上部运送组件；下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通；下框架的四周还配合设置有护板；本实用新型自动化程度高，在实际运用的过程中能够节约使用的空间，提高工作效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 硅片 运送 装置 | ||
【主权项】：
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