[实用新型]镀膜组件及镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202020393121.8 申请日: 2020-03-25
公开(公告)号: CN212404258U 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 吴婷婷;冯俊敏;张万财 申请(专利权)人: 深圳市海瀚新能源技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 付兴奇
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供了镀膜组件及镀膜装置,涉及镀膜技术领域。一种镀膜组件,包括第一辊、第一冷却辊和蒸发机构。第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于第一辊的下游,第一冷却辊设置于膜材的上方,第一辊与第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材。蒸发机构设置于悬浮膜材和第一冷却辊的下方,且被配置为能够同时对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。该镀膜组件使得沉积镀膜的膜材中,一部分膜材为悬浮状态,一部分为贴鼓状态,贴合于第一冷却辊上的膜材能够进行冷却,导出膜材的热量,有助于降低膜材的温度,避免膜材出现热损伤,同时能够提高镀膜的膜材的传热效率,提高沉积效率。
搜索关键词: 镀膜 组件 装置
【主权项】:
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