[实用新型]MEMS麦克风和电子产品有效
| 申请号： | 202020401714.4 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN211702390U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张瑞霞 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R1/44 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风和电子产品，包括基板、支撑板、防水膜和MEMS芯片，所述基板的第一表面上形成有沉槽，所述基板上开设有贯通的主声孔，所述主声孔连通至所述沉槽的底面上；所述支撑板设置在所述基板上，所述支撑板覆盖所述沉槽，所述支撑板上开设有贯通的次声孔；所述防水膜设置在所述沉槽中，所述防水膜将所述主声孔和次声孔隔开，所述主声孔与次声孔分别位于所述防水膜的两侧；所述MEMS芯片设置在所述支撑板或所述基板上。本实用新型提供的MEMS麦克风，防水膜能防止外侧环境中的灰尘、液体等异物进入MEMS麦克风内，提高MEMS麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 电子产品 | ||
【主权项】：
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