[实用新型]单晶炉掺杂装置有效
| 申请号： | 202020413455.7 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212077194U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张兴茂 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种单晶炉掺杂装置，涉及单晶炉部件技术领域，包括由上至下依次密封连接并连通的进料部、阻通部、出料部；进料部包括由上至下依次密封连接并连通的真空阀、第一法兰、第二法兰、料仓，料仓的入料口与第二法兰密封连接并连通，料仓的出料口与阻通部密封连接并连通。通过第一法兰和第二法兰的拆卸分离，料仓的入料口能够与外界连通，保证了本装置能够根据掺杂剂的实际需求不断添加，保证了在投掺过程中不会出现无掺杂剂可投的情况，进而保证不会因为投掺量的问题导致拉制出来的产品品质不合格。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
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