[实用新型]一种十字电极等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202020417766.0 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN211350571U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫培;沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人： | 周亮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种十字电极等离子体处理装置，所述十字电极等离子体处理装置包括结构单元、电极单元及电极板组件，所述结构单元是带托架的腔体，用于承载电极单元和待处理的目标产品，所述电极单元是呈十字交叉形式相互连接的电极条，用于承载电极板组件，所述电极板组件采用若干块间隔布置的电极板，用于正负极之间放电产生等离子体。本实用新型的装置根据目标产品的特性及其对放置方式的要求来调整电极板的连接方向，在低压状态下，电极板之间产生稳定辉光放电，产生等离子体穿过目标产品，进而完成处理。本实用新型的装置利用十字电极结构的特殊性改变电极板的连接方向，使得本装置既能处理水平放置的产品，又能处理竖直放置的产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 十字 电极 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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