[实用新型]一种半导体光刻光罩盒有效
| 申请号： | 202020423382.X | 申请日： | 2020-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN212149937U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 宋文 | 申请（专利权）人： | 无锡旭邦精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B65D45/02 | 分类号： | B65D45/02;G03F1/66 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 戴丽伟 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及对半导体技术的结构优化，具体为一种半导体光刻光罩盒，其内部承载结构稳定，可兼容不同掩膜板型号，与掩膜板接触部件可以多方向缓冲，底部接触面为小，承载面平稳稳，进一步保证使用存储运输过程中能更好的保证掩膜板不会损坏，包括上光罩盒壳体(1)和下光罩盒壳体(2)，所述上光罩盒壳体(1)与下光罩盒壳体(2)盖合，其特征在于：所述下光罩盒(1)和下光罩盒壳体(2)的边角处均设有弹性承载件(3)，所述弹性承载件(3)为“S”形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 光刻 光罩盒 | ||
【主权项】：
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