[实用新型]单晶炉增氧加热器

摘要

一种单晶炉增氧加热器，涉及单晶炉部件技术领域，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电阻率×长度/横截面积的公式，在增氧加热器的电阻率和长度不能改变的情况下，改变横截面积，增大电阻值，以增大增氧加热器的发热量，使得加热器的且温区增大，进而使得石英坩埚底部受加热器辐射的热量多，氧的溶解反应加快，增加晶棒尾部的氧含量，相比于传统加热器，在固定时间内增加了氧的溶解量。