[实用新型]真空泵有效
| 申请号： | 202020426232.4 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212640602U | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 顾崇诚 | 申请（专利权）人： | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 315480 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空泵包括二个转子、汽缸以及旋转驱动结构。该汽缸包括一汽缸壁。该两转子设于该汽缸，该两转子皆包括爪部与凹陷部，凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成一闪避空间。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边，其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接，且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈是分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
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