[实用新型]镀膜设备有效
| 申请号： | 202020430990.3 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN212199400U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 林育正;陈麒麟 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张建珍 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备，包括真空腔体、离子镀膜源、导电部和保持部；离子镀膜源设于真空腔体内，设置为提供离子化的成膜粒子；导电部设于真空腔体内且与离子镀膜源相对设置，设置为在镀膜过程被施加相反于成膜粒子的电性的偏压，以吸引成膜粒子朝导电部方向移动；保持部用于承载基材，以将基材置于离子镀膜源和导电部之间，并使基材的待镀膜表面和离子镀膜源相对。本实用新型镀膜设备能够有效沉积镀膜，减少材料浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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