[实用新型]一种新型单晶炉有效
| 申请号： | 202020455495.8 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN210974924U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张昱博;霍学伟 | 申请（专利权）人： | 曲靖阳光能源硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 长沙睿翔专利代理事务所(普通合伙) 43237 | 代理人： | 周松华;孙建霞 |
| 地址： | 655000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型单晶炉，包括单晶炉体、石英坩埚、石墨坩埚托、石墨加热器和底座，所述石英坩埚放置在石墨坩埚托内，石墨坩埚托底部设置有坩埚托轴，所述石墨加热器位石墨坩埚托外侧，所述单晶炉体的顶部设置有附炉室，所述附炉室的侧壁上设置有进气管和排气管，所述进气管上设置有输气泵、电子阀门、气体流量计，进气管的输入端上设置有储气箱，储气箱的输入端与排气管的输出端连通，所述储气箱的侧壁上设置有压缩机，储气箱内设置有冷凝管，冷凝管与压缩机连接。输气泵、储气箱的设计，可使惰性气体重复利用，节约制造成本保护环境；储气箱上压缩机和冷凝管的设计，可缩短停炉冷却时间，从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 单晶炉 | ||
【主权项】：
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