[实用新型]一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统有效
| 申请号： | 202020458014.9 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN212003813U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 彭代全 | 申请（专利权）人： | 上海裕诗实业有限公司 |
| 主分类号： | F15B19/00 | 分类号： | F15B19/00;F15B20/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 王一琦 |
| 地址： | 201620 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 机台 气缸 升降 侦测 系统 | ||
【主权项】：
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