[实用新型]一种具有绝缘性的溅射炉夹具有效
申请号: | 202020464880.9 | 申请日: | 2020-04-02 |
公开(公告)号: | CN212247195U | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 彭海 | 申请(专利权)人: | 无锡元核芯微电子有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有绝缘性的溅射炉夹具,包括基板、安装座和连接件,所述基板顶端的两侧均安装有安装座,且安装座的顶端均设置有安装槽,所述安装槽的内侧均安装有固定杆,所述第三连接轴上方连接件的两端之间均安装有第四连接轴,且第四连接轴的外壁均安装有移动件,所述移动件的一端均安装有第一连接轴,且第一连接轴的外壁均安装有夹持件,所述手柄的一端均通过第二连接轴固定连接于移动件的一端。本实用新型通过在夹持件的顶端皆均匀设置有凸起,且凸起一侧夹持件的顶端均设置有凹槽,通过在夹持件上表面增加凸起结构,能够阻挡镀膜脱落,从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度,有利于降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 绝缘性 溅射 夹具 | ||
【主权项】:
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