[实用新型]一种芯片检测装置有效
| 申请号： | 202020464995.8 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN212275888U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 李向东 | 申请（专利权）人： | 山东才聚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 淄博汇川知识产权代理有限公司 37295 | 代理人： | 李时云 |
| 地址： | 255088 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片生产检测设备领域，具体为一种芯片检测装置，包括支撑板、架设在支撑板之间的检测台、设于支撑板上部做支线运动的第一驱动装置、设于检测台上部且与第一驱动装置连接的探针座、驱动检测台转动的第二驱动装置、连接检测台与外部气源的真空环。探针座在检测台上的芯片测试盘转动到上部水平位置时下降并与芯片测试盘上的芯片接触实现芯片的检测。本实用新型在转盘转动过程中完成芯片的放置、检测和取下，大大提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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