[实用新型]一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线有效

专利信息
申请号: 202020474460.9 申请日: 2020-04-02
公开(公告)号: CN211743188U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 吴懿平;吕卫文;区燕杰 申请(专利权)人: 珠海市一芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L33/62 分类号: H01L33/62;C23C18/18;C23C18/32;C23C18/42
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 代理人: 王新爱
地址: 519000 广东省珠海市国家高新技术开发区唐家*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线,包括底座、除油槽、清洗槽、碱蚀槽、清洗槽、酸洗槽、初浸锌槽、退锌槽、再浸锌槽、清洗槽、化镍槽、清洗槽、化金槽、清洗槽、导轨、输送机械手、上料小平台和下料小平台,LOT料盒;PLC控制器;本实用新型生产线,将化学镍金工艺进行统一整合,这样在生产时不仅能够节省人力,缩短工艺流程,而且还能避免LED晶圆碰伤、刮花、污染等损害,从而达到简化设备、减少占地面积、节约人员配置、减少污液排放、批量生产的目的,降低生产线制造成本及产品生产成本。
搜索关键词: 一种 倒装 led 化学 自动生产线
【主权项】:
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