[实用新型]一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线有效
申请号: | 202020474460.9 | 申请日: | 2020-04-02 |
公开(公告)号: | CN211743188U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 吴懿平;吕卫文;区燕杰 | 申请(专利权)人: | 珠海市一芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;C23C18/18;C23C18/32;C23C18/42 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 519000 广东省珠海市国家高新技术开发区唐家*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线,包括底座、除油槽、清洗槽、碱蚀槽、清洗槽、酸洗槽、初浸锌槽、退锌槽、再浸锌槽、清洗槽、化镍槽、清洗槽、化金槽、清洗槽、导轨、输送机械手、上料小平台和下料小平台,LOT料盒;PLC控制器;本实用新型生产线,将化学镍金工艺进行统一整合,这样在生产时不仅能够节省人力,缩短工艺流程,而且还能避免LED晶圆碰伤、刮花、污染等损害,从而达到简化设备、减少占地面积、节约人员配置、减少污液排放、批量生产的目的,降低生产线制造成本及产品生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 led 化学 自动生产线 | ||
【主权项】:
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