[实用新型]一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置有效
| 申请号： | 202020477518.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN212080165U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 雷世友;张松华 | 申请（专利权）人： | 杭州铂利雅精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311106 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体、安装在壳体内的传动轴、磁流体密封机构和冷却机构，磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，壳体右端通过连接机构安装在真空腔上，传动轴两端分别通过连接机构与真空腔的从动轴和外部驱动轴连接，磁流体密封机构用于密封传动轴，便于保持真空腔内的真空度，壳体冷却管通过壳体降温或保温，轴冷却管用于传动轴的冷却和保温，防止高温对磁流体密封机构造成影响，保证磁流体密封机构正常工作，冷却腔用于对磁流体密封机构右侧的气体或壳体进行预冷，以提高磁流体密封机构的冷却效果或保温效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 刻蚀 耐高温 流体 密封 传动 装置 | ||
【主权项】：
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