[实用新型]自动插片机横移取片装置有效

专利信息
申请号: 202020489142.X 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN211719608U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 季徐华;杨海波 申请(专利权)人: 无锡森顿智能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种自动插片机横移取片装置,包括至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置及至少一吸取装置,所述至少一夹紧装置安装在所述多轴伺服装置上用于夹紧硅片,所述至少一吸取装置安装在所述多轴伺服装置的至少一运动端,以用于吸取硅片。本实用新型解决了传统人工搬运的方式,具有自动化程度高的有点,省时省力,不仅降低了工人的劳动强度,还提高了企业硅片输送的效率。
搜索关键词: 自动 插片机横移取片 装置
【主权项】:
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