[实用新型]一种晶圆自动上下料系统有效
| 申请号： | 202020497028.1 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN212150728U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘明伟;黄古刚 | 申请（专利权）人： | 东莞市正远智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 潘俊达;王滔 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆自动上下料系统，包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台，所述固定架安装于所述升降机构的输出端，所述料盘放置于所述固定架上，所述固定架设置有出料口，所述搭载台设置于所述出料口的前方，所述搭载台设置有与晶圆相匹配的限位架，所述夹取机构沿所述滑动轴在所述出料口与所述限位架之间往复水平移动。相比于现有技术，本实用新型提高晶圆的生产效率以及晶圆的生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 上下 系统 | ||
【主权项】：
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