[实用新型]一种晶圆吸取装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆吸取装置，包括封装机的传送台，传送台的顶端放置有工件，工件的下方设置有顶升板，顶升板的左侧设置有接触式传感器，顶升板的底端中心位置设置有气缸一，传送台的顶端一侧设置有机架，机架的顶部对称设置有滑轨，两滑轨之间设置有丝杆，丝杆的一端连接有伺服电机，滑轨上滑动连接有拖板，且拖板与丝杆螺纹连接；拖板的顶部设置有行程气缸，拖板上开设有燕尾滑槽，燕尾滑槽内滑动连接有滑块，滑块的顶端与行程气缸的活塞固定连接。有益效果：结构紧凑，采用双保险的设计，可以有效防止晶圆吸取过程中发生掉落的情况出现，同时减少了夹具在吸取晶圆时对晶圆的冲击，以保证晶圆完好无损。