[实用新型]一种用于半导体装片的芯片取放装置有效
申请号: | 202020527378.8 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN211350611U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 张建坤 | 申请(专利权)人: | 张建坤 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人: | 董晓勇 |
地址: | 235300 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体装片的芯片取放装置,涉及到半导体生产领域,包括操作台,操作台的顶部活动连接有固定架,固定架的顶部一侧固定连接有支撑板,支撑板的中部开设有槽口,槽口的两侧均开设有滑槽,滑槽的内部活动连接有丝杠,丝杠的表面活动连接有滑动板,滑动板的顶部中间固定连接有气缸,气缸的固定连接有伸缩杆,伸缩杆的一端固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有吸盘,固定架的顶端另一侧两端均固定连接有第一电机。本实用新型通过丝杠能够带动滑动板实现左右移动的效果,从而方便滑动板上的吸盘对横向放置的芯片进行吸取,从而避免由于芯片的体积较小不便于人工操作的情况。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造