[实用新型]用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置

摘要

本实用新型公开了用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，属于密封技术领域，包括盖板，所述盖板的底端镶嵌连接有底板，所述底板的下方插接有气垫，所述气垫的两侧固定安装有侧腔，所述侧腔的内部固定安装有弹簧A，所述弹簧A的一端间隙连接在磁铁A的一端，所述气垫的底端插接在乳胶垫的内部，所述盖板的内部固定安装有支承座，所述支承座包括底座A底座B，所述底座A的一端过盈连接有支座A，所述支座A的下方镶嵌连接有弹簧B，所述弹簧B的下方固定安装有支座B，所述支座B的下方固定安装有底座B。本实用新型通过安装的支承座，能够有效减少盖板受到的来自外界环境的冲击压力，防止盖板受到损坏，从而提高使用效果。