[实用新型]一种具有辅助加热装置的退火炉有效

专利信息
申请号: 202020528717.4 申请日: 2020-04-08
公开(公告)号: CN211529964U 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 朱辉;张弥涛;张春成;赵志然;成秋云 申请(专利权)人: 湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 戴玲
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种具有辅助加热装置的退火炉,包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置,原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝,辅助热源位于反应室内,石英管位于炉体内,炉体两端分别设有端盖和炉门,端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室,辅助热源为多个圆弧形加热管,多个圆弧形加热管沿反应室轴向间隔布置,圆弧形加热管的开口朝下。本实用新型在反应室内增加辅助热源,对反应室内的舟体近距离加热,加热炉丝的加热功率降低,减少加热炉丝的使用量,辅助热源为圆弧形加热管或者环形加热管,可根据反应室轴向温度要求沿轴向分布的疏密不同,通过加热管的疏密改变炉体不同温区的温度,有利于更好的控温,提升工艺效果。
搜索关键词: 一种 具有 辅助 加热 装置 退火炉
【主权项】:
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