[实用新型]一种具有辅助加热装置的退火炉有效
申请号: | 202020528717.4 | 申请日: | 2020-04-08 |
公开(公告)号: | CN211529964U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 朱辉;张弥涛;张春成;赵志然;成秋云 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 戴玲 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有辅助加热装置的退火炉,包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置,原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝,辅助热源位于反应室内,石英管位于炉体内,炉体两端分别设有端盖和炉门,端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室,辅助热源为多个圆弧形加热管,多个圆弧形加热管沿反应室轴向间隔布置,圆弧形加热管的开口朝下。本实用新型在反应室内增加辅助热源,对反应室内的舟体近距离加热,加热炉丝的加热功率降低,减少加热炉丝的使用量,辅助热源为圆弧形加热管或者环形加热管,可根据反应室轴向温度要求沿轴向分布的疏密不同,通过加热管的疏密改变炉体不同温区的温度,有利于更好的控温,提升工艺效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 辅助 加热 装置 退火炉 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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