[实用新型]掩膜版存放装置

摘要

本申请属于掩膜版生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版存放装置。本申请的掩膜版存放装置，可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度，实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。各夹持组件均能在旋转组件上转动，且通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向中间旋转。再在夹持组件上设有多个卡球，一方面，用于防止掩膜版与第一夹持件和第二夹持件接触，导致影响掩膜版的性能，另一方面，用于夹持固定该掩膜版。此外，设于第二夹持件下方的弹性件，在当两个夹持组件夹持有掩膜版时，能够支撑该夹持组件和掩膜版，当掩膜版取出后，弹性件将加持组件向上顶起，使得顶部开口较大，呈现张开模式，准备下一次存放铬版掩膜版。