[实用新型]一种硅片花篮抓取转运装置有效

专利信息
申请号: 202020534492.3 申请日: 2020-04-13
公开(公告)号: CN211507591U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 申请(专利权)人: 中赣新能源股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 温州名创知识产权代理有限公司 33258 代理人: 程嘉炜
地址: 335000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种硅片花篮抓取转运装置,包括底座,所述底座的顶端设置有硅片篮,所述底座的一侧固定连接有转动座,所述转动座的顶端中心处转动连接有气压缸,所述气压缸的顶端固定连接有转运辊,所述转运辊的中心处转动连接有转动杆,所述转运辊的两侧滑动连接有多个挂接杆,所述转运辊的顶端固定连接有伸缩电机,所述伸缩电机转轴与转动杆固定连接,所述转动杆的两侧固定连接有第一连杆,两侧所述第一连杆背离转动杆的位置转动连接有第二连杆,通过设置转运电机、转运辊、以及气压缸,通过气压缸将硅片篮顶起,之后通过转运电机驱动转运辊进行转运,转运过程更加的便捷,满载的硅片篮可以与空载硅片篮直接交换,增加转运效率。
搜索关键词: 一种 硅片 花篮 抓取 转运 装置
【主权项】:
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