[实用新型]多弧离子镀膜靶材

摘要

本实用新型属于多弧离子镀膜技术领域，尤其为多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，所述定位槽的内部安装有凸块，所述顶板的底端表面连接有延伸块，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，所述外壳的外部设置有外螺纹。该多弧离子镀膜靶材通过顶板、铆钉、外壳和外螺纹的设置，顶板通过三个铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而外壳对顶板的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板上，同时也能够对铆钉进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳外部的外螺纹能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。