[实用新型]一种蒸发均匀的分体式坩埚有效
| 申请号： | 202020578962.6 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN212925147U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;孙蕾;吴思华 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸发均匀的分体式坩埚，包括盛料埚，盛料埚为圆柱体，分为上部分和下部分，上部分直径大于下部分上部分由上到下设置有气体分散埚和气体集中埚；气体分散埚整体呈圆柱形，上端为敞开面，底部有进气孔；气体集中埚整体呈圆柱形，下端为敞开面，上端有出气孔；所述进气孔与出气孔的位置相适应；使得气体变得均匀分散，从而使得盛料埚内的蒸发料蒸发更加均匀，分离式的设计，使得气体集中埚、气体分散埚可以轻松取下，方便随时清洗更换，使得清洗安装更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 均匀 体式 坩埚 | ||
【主权项】：
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