[实用新型]一种等离子清洗刻蚀箱体有效
| 申请号： | 202020593761.3 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN212264048U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刘善石 | 申请（专利权）人： | 昆山索坤莱机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子清洗刻蚀箱体，包括箱体，本实用新型通过电极板、匀水分流机构的配合，保证了电极板内水量一致，进而使箱体内极板各处温度差异最小化，有利于工艺气体的充分电离，通透性的电极板，保证了电离气体在箱体内的充分流动性，加快了产品处理效率，将电极板整体固定于箱体内，在日后维护时可快速更换整套电极板，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 清洗 刻蚀 箱体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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