[实用新型]接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置有效
| 申请号： | 202020598936.X | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN212426245U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 赵延祥;刘波;程博;马玉怀 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06;B25B11/00;G01N19/04 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 接着 后晶棒 测试 用晶棒 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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