[实用新型]膜厚的检测装置有效
| 申请号： | 202020599477.7 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN211696232U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;宋荣鑫;张凯;曲涛;林永辉;姜利 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：检出结构，包括检出电极；共通电极，与检出电极在第一方向上相对且间隔设置，检出结构和共通电极之间的间距为预定间距；介质部，位于检出电极和共通电极之间，且介质部位于检出结构的表面上和/或位于共通电极的表面上，介质部的厚度小于预定间距，介质部用于增加检出电极和共通电极之间的介电常数。通过在检出电极和共通电极之间设置介质部，由于介质部增加了检出电极与共通电极之间的介电常数，即改善了检出电极与共通电极之间的导电特性，使得该检测装置具有较高的检测灵敏度与精度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
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