[实用新型]一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置有效
| 申请号： | 202020620442.7 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN211856392U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 申雪珍;张平;邹宇 | 申请（专利权）人： | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，包括：安装架；支撑架，支撑架用于支撑待检测晶片的侧边缘；强光灯，强光灯安装在安装架上，位于支撑架的上方，强光灯的光柱能够覆盖整个位于支撑架上的待检测晶片。由于本实用新型提供的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置通过支撑架支撑待检测晶片的侧边缘，一方面避免了通过镊子长时间夹持晶片导致的晶片崩裂，降低了检测人员的要求，另一方面，避免与晶片的硅面及碳面接触，进而避免了磨损晶片硅面和碳面。此外，强光灯的光柱能够覆盖整个晶片，降低了晶片漏检的概率。即本实用新型避免检测晶片过程中对晶片磨损，降低了晶片漏检的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 外观 检测 夹持 照明 装置 | ||
【主权项】：
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