[实用新型]位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统

摘要

本实用新型公开了一种位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统，该位置灵敏探测器包括：光敏器件层，用于接收第一波长光，并转换成电信号；光转换结构，光转换结构包括透明基板和第一光转换层；透明基板位于光敏器件层之上；第一光转换层设置有横向间隔分布的反光区和光转换透光区，光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，其中，第二波长光的波长大于第一波长光的波长；透明基板远离第一光转换层一侧的表面为非球面。本实用新型实施例提供的技术方案，第一光转换层中光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，降低了位置灵敏探测器的加工难度以及生产成本。