[实用新型]一种导流器及等离子化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种导流器及等离子化学气相沉积设备，涉及等离子化学气相沉积技术领域，以减少导流器的边缘连接部与其对应的螺钉震动摩擦产生的异物量，降低产品的不良率。该导流器与其上方结构件及下方结构件固定连接，用于将其上方结构件处的气体导流至其下方结构件上，包括边缘连接部和中部导流部，边缘连接部用于与上方结构件螺接，中部导流部对应上方结构件的气体沉积孔设置，中部导流部的下表面开设有紧固孔，紧固孔用于配合安装柱形紧固件，以将下方结构件固定在中部导流部的下方，紧固孔的内侧壁与中部导流部的周向的外侧壁之间的厚度均匀。本实用新型可用于等离子化学气相沉积镀膜。