[实用新型]并联双管路抽气系统有效
申请号: | 202020632971.9 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN212376876U | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 聂毅东;朱刚;吴立南 | 申请(专利权)人: | 南京朗仕億等离子体制造科技有限公司 |
主分类号: | F04C23/00 | 分类号: | F04C23/00;F04C25/02;C23C16/458;C23C16/46 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210031 江苏省南京市江北新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了并联双管路抽气系统,包括真空室和主管路,主管路与真空室连接,在主管路上设置并联支路,主管路上安装有蜗轮阀,并联支路上安装挡板阀,主管路再连接串联管道,主管路与串联管道之间安装罗茨泵,串联管道末端连接旋片泵。真空室连接主管路,主要通过主管路抽气,主管路上并联一个支路,通过挡板阀微调抽气速率,这样优化了抽气系统,降低了抽气速率,节省了工作气体,容易控制工作气体参数;真空室在原有左右两侧加热的基础上,另外增加三组加热,能够多方位均匀加热,加热速度快。 | ||
搜索关键词: | 并联 双管 路抽气 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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