[实用新型]并联双管路抽气系统有效

专利信息
申请号: 202020632971.9 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN212376876U 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 聂毅东;朱刚;吴立南 申请(专利权)人: 南京朗仕億等离子体制造科技有限公司
主分类号: F04C23/00 分类号: F04C23/00;F04C25/02;C23C16/458;C23C16/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210031 江苏省南京市江北新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了并联双管路抽气系统,包括真空室和主管路,主管路与真空室连接,在主管路上设置并联支路,主管路上安装有蜗轮阀,并联支路上安装挡板阀,主管路再连接串联管道,主管路与串联管道之间安装罗茨泵,串联管道末端连接旋片泵。真空室连接主管路,主要通过主管路抽气,主管路上并联一个支路,通过挡板阀微调抽气速率,这样优化了抽气系统,降低了抽气速率,节省了工作气体,容易控制工作气体参数;真空室在原有左右两侧加热的基础上,另外增加三组加热,能够多方位均匀加热,加热速度快。
搜索关键词: 并联 双管 路抽气 系统
【主权项】:
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