[实用新型]一种溅射镀膜用输送轨道

摘要

为了解决镀膜基片镀膜完成后运输到卸料室进行卸料，随后将卸料后的机片架搬运到一高洁净度的上料室内，在上料室内完成镀膜基片的贴片过程，需要耗费大量的人力和时间的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜用输送轨道，通过在卸料口和上料室的出架口安装输送轨道将卸片结束的机片架运输到上料室内进行下一步的上料工序，节省了大量的人力和时间，在输送轨道相同间隔处设置有光电传感器，光电传感器电性连接控制柜中的控制器，当光电传感器感应到前后两个机片架的距离小于5m的时候，控制器停止后面的机片架运行直到两个机片大于5m，从而有效的控制机片架之间的距离，防止相邻的机片架碰撞。