[实用新型]一种金铂扩散舟

摘要

本实用新型提出一种金铂扩散舟，包括舟底板和硅片固定件，舟底板的一端设置有挂孔，舟底板上设置有多组硅片固定件，硅片固定件包括两对顶头和两对分档杆，顶头的中心转动设置有螺柱，分档杆靠近舟底板的边缘设置，舟底板上设置有舟头板和护板，护板上均匀分布有若干个散气孔，舟底板上介于一对舟头板之间设置有挂孔，舟底板上介于每对顶头之间设置有底孔，舟底板的底部均匀设置有若干个球状凸头。本实用新型具有层叠排舟和分段排舟两种排舟方式，气体流通效果较好，有利于提高硅片扩散质量；本装置的顶头支撑高度以及分档杆间距均可合理调整，利用率较高，设计合理，结构简单，适合大规模推广。