[实用新型]一种光刻机的取片装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接。本实用新型可以在取片过程中保证片盒内的硅片不被灰尘污染，保障了优质的光刻效果，同时可以对不同厚度的硅片进行夹持，具有更强实用性。