[实用新型]一种磷硼扩散石英舟

摘要

本实用新型提出一种磷硼扩散石英舟，包括舟底板，其特征在于，所述舟底板呈回字形，所述舟底板的中间设置有中空结构，所述舟底板的底面均匀设置有若干个球状凸起，所述舟底板的两端对称设置有两个与其垂直的挡板，所述挡板横跨在中空结构上方，所述挡板上设置有若干个散气孔，所述挡板的一侧设置有一对角形的支撑板，所述舟底板、挡板和支撑板均由耐高温材料制成。本实用新型通过采用回字形的舟底板以及球状凸起、散气孔的设计有效改善了扩散舟整体的气体流动效果，有利于提高硅片扩散质量。本实用新型设计合理、结构简单，适合大规模推广。