[实用新型]气体流量传感器芯片以及气体流量传感器有效
| 申请号： | 202020646368.6 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN212409799U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 徐斌;牛东;刘治;孙运峰 | 申请（专利权）人： | 纬湃汽车电子（长春）有限公司 |
| 主分类号： | G01F15/00 | 分类号： | G01F15/00;G01F15/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 汤国华 |
| 地址： | 130033 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体流量传感器芯片，其包括基体以及感应膜片，所述基体设有通孔，感应膜片置于通孔处。感应膜片包括基片、置于基片上的加热器、置于加热器一侧的第一热电偶以及置于加热器另一侧的第二热电偶，加热器设有第一中心轴。第一热电偶和第二热电偶以第一中心轴为中心对称设置。基片为压电材料制成。本实用新型提供的气体流量传感器通过将基片设为压电材料制成，可以起到对传感器的清洁的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流量传感器 芯片 以及 | ||
【主权项】：
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