[实用新型]新型薄膜测厚装置有效
| 申请号： | 202020658571.5 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN211740125U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李维能;杨牧 | 申请（专利权）人： | 钛科优控（江苏）工业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226399 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型薄膜测厚装置，包括底架、基座、减震垫、C型架、激光传感器和往复移动机构，所述的基座位于底架的上部，与底架之间安装有减震垫；在该基座的上部，沿基座的长度方向安装有直线导轨，该直线导轨的一端安装有第一端板，另一端安装有第二端板，所述的直线导轨上安装有滑板，该滑板与所述的直线导轨滑动配合。本实用新型的优点是：结构简单，使用方便，通过将C型架以及基座的结构改进，同时C型架以及基座采用大理石材质，没有热胀冷缩的特性避免床身的震动以及C型架的热胀冷缩对激光传感器测量结果的影响，通过设置两个激光传感器同轴，提高测量精度值。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
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