[实用新型]一种光刻胶灌装装置有效
| 申请号： | 202020665670.6 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212127491U | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 宋里千 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/26 | 分类号： | B67C3/26;B67C3/22 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 韩慧颖 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻胶生产技术领域,尤其涉及一种光刻胶灌装装置,包括取胶筒，所述取胶筒沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室若干个，储胶室的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室的闸板，取胶筒的顶部设置有推动油缸，推动油缸的底部输出端设置有可上下升降的安装架，安装架的底部安装有负压泵，负压泵的输入端设置有吸取管头、负压泵的输出端设置有灌装管头，本实用新型解决了光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的问题，通过本灌装装置可以确保每一次定量抽取并灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，人工作业量降低，对生产工艺起到了明显的促进作用，硅片产品的生产质量得到提升，适宜推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 灌装 装置 | ||
【主权项】：
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