[实用新型]一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体

摘要

本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧，所述外保温层套接在风冷散热系统外侧，所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧，所述风冷散热系统用于炉体的散热。在炉子的内保温层外部设置了风冷散热系统，通过分成三段的风冷循环管道在电炉丝的外侧通过循环通风对使用过的电炉丝进行加速冷却，来减少炉体在使用过后的冷却时间，增加了炉体循环使用的频率，进而增加了设备整体的工作效率。