[实用新型]一种等离子刻蚀机有效
| 申请号： | 202020687599.1 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN211629034U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 郭颂;刘海洋;王铖熠;李娜;刘小波;张军;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/32;H05B1/02;H05B3/02;H05B3/10 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种等离子刻蚀机，该等离子刻蚀机包括一刻蚀腔体和一加热板；刻蚀腔体的敞开端固定一陶瓷介质窗；陶瓷介质窗的上方固定一产生等离子体的等离子体耦合线圈；加热板固定在一屏蔽罩内；屏蔽罩的下端敞开；屏蔽罩位于刻蚀腔体的上方且固定在刻蚀腔体上；加热板固定在陶瓷介质窗朝向等离子体耦合线圈的表面；加热板上开设用于供等离子体穿过的预留间隙；加热板通过一供电电路连接一加热电源。本实用新型将加热板直接贴合在陶瓷介质窗上，通过对加热板通电以对陶瓷介质窗直接进行加热。因此加热板的加热效率高，热量散失少，避免屏蔽罩的过热现象，无需在屏蔽罩外增设保护罩。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 | ||
【主权项】：
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