[实用新型]一种湿式花篮翻转搬运机构有效
申请号: | 202020691574.9 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN211929455U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 沈晓琪;朱斌;张立;李亚康 | 申请(专利权)人: | 无锡小强半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种湿式花篮翻转搬运机构,包括机台、翻转件、夹持件和花篮,所述翻转件设置于机台上侧,所述夹持件用于对花篮的固定,所述翻转件与夹持件连接,用于对夹持件移动与翻转。本实用新型采用六轴机器人实现对夹持件全方位的转动和平移,进而实现对花篮的翻转和搬运,有利于设备对花篮的全面控制,并通过配置光电传感器对花篮内有无料的精确检测,提高了效率,本实用新型还采用两组气缸作为驱动件,同步启动或停止运动,进而同时控制手指对花篮进行夹紧或放松,有良好的同步性能,从而保证花篮在被夹紧的时候两侧均匀受力,避免花篮内承载的材料破损,进一步提高了设备的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 花篮 翻转 搬运 机构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造